公开材料显示，特种气体是跟着电子行业的兴起而正在工业气体门类下逐渐细分成长起来的新兴财产，属于高手艺高附加值产物。按使用范畴划分，特种气体次要包罗电子特气、医疗气体、激光气体、电光源气体等。此中，电子特气普遍使用于清洗、光刻、刻蚀、、外延堆积等半导体工艺制程中，是我国逃求半导体范畴自从的必经范畴。

　　公开材料显示，目前国产光刻机正在90nm及以下工艺节点方面取得了主要进展。例如，上海微电子自从研发的600系列光刻机已实现90nm工艺的量产，并正正在进行28nm淹没式光刻机的研发工做。

　　正在半导体财产里，光刻机做为上逛设备范畴的代表性产物，对财产成长起着决定性感化，是鞭策芯片制程前进、引领行业成长的环节力量。

　　本年9月，SK海力士颁布发表，已将业界首款量产型高数值孔径极紫外光刻机(High NA EUV)引进韩国利川M16工场。此次引进的设备为荷兰ASML公司推出的TWINSCAN EXE！5200B，它是首款量产型High-NA EUV设备。

　　跟着光刻机手艺的冲破将带动上逛材料、细密机械等配套财产升级，加快光刻胶、光学部件等“卡脖子”材料的国产化历程，构成“龙头带动、多点冲破”的财产升级款式。

　　据2025年8月27日机构调研，公司实空系统AdvanTorr、气系统统NanoPure已使用于泛半导体财产链，并通过美国排名前二半导体设备厂商认证成为其一级供应商。公司国产替代计谋，正在半导体设备及厂务端零部件市场积极结构，预期该营业板块将连结高速增加。

　　SK海力士打算通过引进该设备，简化现有的EUV工艺，并加速下一代半导体存储器的研发历程，从而确保正在产物机能和成本方面的合作力。还有动静称，SK海力士打算正在将来两年内新购买约20台EUV光刻系统，投资规模估计至多正在6万亿韩元以上。

　　近期，半导体光刻机范畴动做不竭，英特尔和三星等大厂提高了光刻机订单量。此中，英特尔将ASML的High-NA EUV订购数量从1套提高到2套，EUV的订购数量从3套提高到5套；三星则将EUV的订购数量从本来的5套提高到7套。业界指出，跟着芯片制程不竭向2纳米以及2纳米以下迈进，EUV正逐步迫近物理极限，而High NA EUV是半导体财产将来的焦点手艺。

　　据悉，高数值孔径(High-NA)是权衡镜头聚焦光线能力的目标，数值越高，分辩率越高，则可以或许绘制更精细的电图案，能大幅缩短制制时间，从而降低缺陷率并提高良率。价钱方面，单台High NA EUV光刻机售价约3。7亿美元(约合人平易近币26亿元)，也被称为芯片市场上的“圣杯”。

　　从今日走势看，新莱应材触及涨停板。公司从停业务之一为干净使用材料和高纯及超高纯使用材料的研发、出产取发卖，产物次要使用于食物平安、生物医药和泛半导体等营业范畴。正在泛半导体范畴，公司的高纯及超高纯使用材料能够满脚干净气体、特殊气体和计量精度等特殊工艺的要求，同时也能够满脚泛半导体工艺过程中对实空度和干净度的要求。

　　近日，深圳稳顶聚芯颁布发表，次要使用于mini/micro LED光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体范畴，可以或许满脚硅片、蓝宝石、SiC(碳化硅)等衬底的分歧胶厚光刻工艺需求。公开材料显示，稳顶聚芯成立于2023年5月，位于深圳南山区。目前，公司具备年产20台光刻机的产能，估计2025年实现营收1。4亿元、净利润4480万元。

　　同花顺数据显示，目前，A股光刻机概念一共有47家上市公司。从二级市场表示看，本年以来，截至10月10日收盘，42家上市公司股价呈现上涨。此中，结合化学(301209。SZ)、凯美特气(002549。SZ)、腾景科技(688195。SH)、旭光电子(600353。SH)、炬光科技(688167。SH)、波长光电(301421。SZ)、茂莱光学(688502。SH)新莱应材(300260。SZ)9家公司股价成功实现翻倍。

　　2017年，凯美特气设立电子特种气体分公司并投建电子特气项目，目前公司光刻气产物已获得ASML子公司Cymer及GIGAPHOTON等光刻机厂商的及格供应商认证，准激光气体产物已获得Coherent(相关)认证。客户方面，公司积极切入国表里高端客户，曾经取中芯国际、长江存储等龙头企业成立合做关系。公司还打算依托全国多地扶植出产，扩张产能，强化轮回经济模式，提拔资本操纵效率。将来，跟着电子特气国产替代历程加速及氢能等新兴范畴需求上升，公司无望借帮产能扩张打开增加新空间。

　　9月29日，洪田股份间接控股子公司洪镭光学颁布发表，其首台HL-P20曲写光刻机已通过华南某FPC客户验收。该设备为面向PCB范畴的双台面激光曲写机型，具备20μm光学解析力、±8μm对位精度，产能超8。5面/分钟，满脚FPC取HDI线需求。经客户工场批量测试，各项目标达标，标记该产物正式获得市场承认。